Зүлгүүрийн усны тийрэлтэт өнгөлгөөний технологийн материал зайлуулах гол хэсэг нь зүлгүүр юм. Түүний хэлбэр, хэмжээ, төрөл болон бусад үзүүлэлтүүд нь боловсруулалтын үр ашиг болон боловсруулсан ажлын хэсгийн гадаргуугийн чанарт шууд нөлөөлдөг. Одоогоор түгээмэл хэрэглэгддэг зүлгүүрийн төрлүүд нь: SiC, Al2O3, CeO2, анар гэх мэт. Ерөнхийдөө зүлгүүрийн ширхэгийн хатуулаг их байх тусам материал зайлуулах хурд болон гадаргуугийн барзгар байдлыг сайжруулж болно.
Үүнээс гадна өнгөлгөөний чанарт дараах хүчин зүйлс нөлөөлдөг.
1 Дугуйрсан байдал: Зүлгүүрийн бөөмсийн дугуйрсан байдал нь боловсруулалтад үзүүлэх нөлөө. Үр дүнгээс харахад зүлгүүрийн бөөрөнхий байдал их байх тусам гарах хурд их, материалыг зайлуулах хурд өндөр, цоргоны элэгдэл бага байдаг.
2 Нэг жигд байдал: Бөөмийн хэмжээний жигд байдал нь тийрэлтэт зайлуулах шинж чанарт үзүүлэх нөлөө. Үр дүнгээс харахад өөр өөр хэмжээтэй бөөмсийн цохилтын зайлуулах хурдны тархалт ижил боловч бөөмийн хэмжээ нэмэгдэхийн хэрээр цохилтын зайлуулах хурд буурдаг.
③Бөөмийн хэмжээ: Зүлгүүрийн бөөмийн хэмжээ нь материалыг зайлуулахад нөлөөлдөг. Зүлгүүрийн хэмжээг нэмэгдүүлэхэд зайлуулсан материалын хөндлөн огтлол нь W хэлбэрээс U хэлбэр болж өөрчлөгддөг. Туршилтын шинжилгээгээр бөөмсийн хоорондох мөргөлдөөн нь материалыг зайлуулах гол шалтгаан болдог бөгөөд нано хэмжээний бөөмсөөр өнгөлсөн гадаргууг атомаар нь зайлуулдаг гэсэн дүгнэлтэд хүрсэн.